{"id":3191,"date":"2025-04-17T10:26:50","date_gmt":"2025-04-17T08:26:50","guid":{"rendered":"https:\/\/web.infn.it\/TechTransfer\/?post_type=portfolio_page&p=3191"},"modified":"2025-04-17T10:26:50","modified_gmt":"2025-04-17T08:26:50","slug":"rivestimenti-per-superfici-complesse","status":"publish","type":"portfolio_page","link":"https:\/\/web.infn.it\/TechTransfer\/portfolio_page\/rivestimenti-per-superfici-complesse\/","title":{"rendered":"Rivestimenti per superfici complesse"},"content":{"rendered":"

[vc_row css_animation=”” row_type=”row” use_row_as_full_screen_section=”no” type=”full_width” angled_section=”no” text_align=”left” background_image_as_pattern=”without_pattern”][vc_column][vc_raw_html]JTVCd3BzZW9fYnJlYWRjcnVtYiU1RA==[\/vc_raw_html][vc_empty_space][vc_column_text]<\/p>\n

Rivestimenti per superfici complesse<\/h1>\n

[\/vc_column_text][vc_empty_space][\/vc_column][\/vc_row][vc_row css_animation=”” row_type=”row” use_row_as_full_screen_section=”no” type=”full_width” angled_section=”no” text_align=”left” background_image_as_pattern=”without_pattern”][vc_column width=”2\/3″][vc_empty_space][vc_column_text]Un sistema per la deposizione di film sottili, tramite tecnica magnetron sputtering, sulla superficie interna di una cavit\u00e0 chiamata substrato. Il sistema comprende un catodo (target), costituito dal materiale di base da depositare, e una innovativa struttura magnetica rotante. La struttura magnetica, grazie alla particolare configurazione, \u00e8 unica sia per la parte interna che per quella esterna del catodo.[\/vc_column_text][vc_empty_space][vc_single_image image=”3192″ img_size=”full” qode_css_animation=””][vc_empty_space][vc_column_text]<\/p>\n

Come funziona?<\/span><\/h3>\n

[\/vc_column_text][vc_empty_space][vc_column_text]L\u2019invenzione nasce come risoluzione del problema tecnico legato alla deposizione tramite magnetron sputtering all\u2019interno delle cavit\u00e0; tuttavia il suo impiego pu\u00f2 essere esteso a tutti gli oggetti a geometria complessa caratterizzata da due cilindri coassiali uniti ad un\u2019estremit\u00e0 e che devono essere ricoperti con un film sottile di spessore uniforme.<\/p>\n

L\u2019invenzione consiste in un target del materiale da depositare costituto da due tubi concentrici uniti tra di loro nella parte superiore. Nell\u2019intercapedine interna \u00e8 inserita una struttura magnetica innovativa che permette di confinare il plasma sulla superficie interna del tubo a diametro inferiore del target e sulla superficie esterna del tubo a diametro maggiore. La particolare configurazione magnetica, variabile in base all\u2019applicazione, permette di avere un unico confinamento del plasma e, tramite un meccanismo che ruota i magneti, si muove il plasma sull\u2019intero catodo in modo da garantire un\u2019elevata uniformit\u00e0 di deposizione.[\/vc_column_text][vc_empty_space][vc_column_text]<\/p>\n

Applicazioni<\/span><\/h3>\n

[\/vc_column_text][vc_column_text]<\/p>\n