Sensore di particelle cariche ottenuto tramite combinazione di sensore RSD e processo CMOS

La tecnologia si riferisce al campo della rivelazione di particelle cariche tramite sensori allo stato solido, e al tracciamento ad alta risoluzione nello spazio e nel tempo di particelle cariche effettuato con sensore ottenuto dalla combinazione di sensore RSD e processo CMOS.

Come funziona?

Questa invenzione dimostra la possibilità di realizzare sensori monolitici basati sul principio di lettura dei sensori RSD, utilizzando un processo industriale standard CMOS. Grazie a questa tecnologia, è possibile ottenere un tracciamento ad alta granularità con prestazioni temporali eccellenti, con evidenti vantaggi in termini di competitività economica e scalabilità produttiva.

L’invenzione introduce inoltre un’innovazione nel processo di fabbricazione dei dispositivi integrati CMOS, rendendo possibile la realizzazione di un sensore monolitico avanzato basato sul meccanismo di moltiplicazione interna (LGAD), integrato con un sistema di lettura RSD.

Il dispositivo descritto rappresenta tecnicamente un RSD monolitico: un rivelatore di particelle che combina i benefici dell’integrazione monolitica in tecnologia CMOS con le prestazioni elevate dei sensori RSD.

Applicazioni

• Controllo qualità in industria alimentare e/o ambienti con possibili sorgenti di radiazione;
• Settori come la sicurezza in aeroporti;
• Diagnostica medica per immagini;
• Industria elettronica per uso spaziale.

Vantaggi

• Elevatissima risoluzione spaziale e ottima risoluzione temporale;
• Sostituzione degli attuali tracciatori di particelle in fisica delle alte energie;
• Possibile produzione su larga scala e basso costo.